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Polierplatte aus 99,7 % Aluminiumoxid mit Loch

Kurzbeschreibung:

Hochreine Aluminiumoxid-Waferpolierplatten mit Bohrungen finden Anwendung in der Halbleiter-, Erdöl-, Chemie-, Photovoltaik- und Flüssigkristallindustrie sowie in weiteren Branchen, beispielsweise für mechanische und elektronische Bauteile, Mikrowelleninduktionsscheiben, Isoliermaterialien, Halbleiterbauelemente, Vakuumanlagen und Anlagen zur Flüssigkristallherstellung. Großflächige und hochreine Aluminiumoxidkeramiken sind in der Saphir- und Halbleiterchipindustrie von großer Bedeutung. Sie dienen als wichtiges Trägermaterial und Verbrauchsmaterial für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) von Saphir- und Siliziumwafern. Darüber hinaus können sie als Aluminiumoxidsubstrat für LCDs eingesetzt werden.

 


Produktdetails

Produktmerkmale

Hochreines Aluminiumoxid, 99,7 %–99,9 % Aluminiumoxid.

Hohe mechanische Festigkeit, hohe Verschleißfestigkeit, hohe elektrische Isolation, hohe chemische Stabilität, gute Hitzebeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit zeichnen Siliziumwafer aus. Das Schleifen von Siliziumwafern mit Keramikschleifscheiben gilt derzeit als fortschrittlichstes und modernstes Verfahren. Beim beidseitigen Schleifen der geschnittenen Siliziumwafer wird die Qualität durch Optimierung des Schleifprozesses (Scheibenmaterial, Schleifflüssigkeit, Schleifdruck und Schleifgeschwindigkeit etc.) verbessert. Insbesondere der Einsatz von Keramikscheiben anstelle von Gusseisenscheiben vermeidet Beschädigungen oder Verunreinigungen auf der Hauptoberfläche des Wafers, reduziert den Eintrag von Metallionen, verringert die Anzahl der nachfolgenden Siliziumbearbeitungen, verkürzt die Korrosionszeiten, steigert die Produktionseffizienz und minimiert Siliziumverluste. Dadurch wird die Siliziumausnutzung deutlich verbessert.

 

Chemische/physikalische Parameter

Eigentum
Dichte (g/cm3)

3,94-3,97

Reinheit (%)

99,7-99,9

Vickers-Härte (GPa)

≥17

Dreipunktbiegefestigkeit (MPa)

440-550

Thermischer Diffusionskoeffizient (Cm2/s)

0,0968

Elastizitätsmodul (GPa)

356

 

Produktspezifikationen

Scheibe oder Ring aus hochreinem Aluminiumoxid, Durchmesser 850 mm, Dicke 45 mm oder weniger (Größe kann angepasst werden).
Wir können auch folgende Spezifikationen von High-End-Keramiken herstellen:
1, 1500x600x25mm unterhalb des langen Brettes, Streifens, quadratischen Brettes, Bleches;
2. Führungsschienen unterhalb von 1000x45x45mm;
3, φ300~600x Länge von 500mm oder weniger leerem Rohr, Zylinder, elektrischer Vakuumröhre usw.
4. Wir können eine Vielzahl von Formen und Spezifikationen von hochreinen Aluminiumoxid-Keramikprodukten individuell anpassen.

 

Vorteile von Chemshun-Keramik

Wir besitzen die unabhängigen Schutzrechte am PIBM-Selbsthärtungsformverfahren und sind auf die Herstellung hochwertiger Feinkeramikbauteile spezialisiert. Das neue Verfahren vermeidet Verformungen und Risse bei der Herstellung großformatiger, nasser Keramikrohlinge und optimiert die Produkteigenschaften im Vergleich zu herkömmlich gefertigten großen Keramikteilen deutlich.
Die von Pingxiang Chemshun Ceramics Co., Ltd. hergestellten Polierscheiben aus Aluminiumoxidkeramik werden im PIBM-Selbsthärtungsformverfahren gefertigt. Die international fortschrittliche PIBM-Technologie hat das zentrale Problem der Rissbildung bei großflächigen Aluminiumoxidscheiben erfolgreich gelöst. Die PIBM-Keramiktechnologie eröffnet der Keramikindustrie neue vielversprechende Perspektiven. Wir produzieren nicht nur hochwertige Polierscheiben aus Aluminiumoxidkeramik, sondern auch weitere großformatige, hochreine Aluminiumoxidkeramiken, wie beispielsweise 1200 × 500 × 20 mm große Keramiksubstrate für LCD-Fertigungsanlagen, Halbleiter-Übertragungsschienen, Vakuumkomponenten, allgemeine Maschinenbauteile und kugelsichere Keramik.

 

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