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Aluminiumoxidsubstrat: ein Präzisionswerkzeug für die Halbleiterfertigung

Polierscheiben spielen als Präzisionsbearbeitungswerkzeuge in der Materialwissenschaft und Oberflächentechnik eine entscheidende Rolle. Ihre Funktion besteht darin, die Materialoberfläche physikalisch oder chemisch zu polieren, um die gewünschte Oberflächengüte und -eigenschaften zu erzielen. Je nach Anwendungsanforderung sind Polierscheiben aus verschiedenen Materialien wie Diamant, Aluminiumoxid, Siliziumkarbid usw. erhältlich, die jeweils spezifische Schleifeigenschaften und Anwendungsbereiche aufweisen.

 Im Bereich der Halbleiterfertigung sind polierte Wafer von besonderer Bedeutung, insbesondere beim chemisch-mechanischen Polieren (CMP), das zur hochpräzisen Glättung der Waferoberfläche eingesetzt wird. Die CMP-Technologie kombiniert mechanisches Schleifen und chemisches Ätzen und beseitigt so effektiv die Unregelmäßigkeiten der Mikrogeometrie des Wafers, wodurch die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit mikroelektronischer Bauteile gewährleistet werden.

 In der Metallbearbeitung werden Polierpads eingesetzt, um oxidierte Schichten und Verunreinigungen von Werkstückoberflächen zu entfernen und die Oberflächengüte zu verbessern. Dadurch werden Aussehen und Eigenschaften der Werkstoffe optimiert. Beispielsweise kann in der Luft- und Raumfahrt- sowie der Automobilindustrie, wo die Oberflächenbehandlung von Bauteilen extrem hohe Anforderungen stellt, das Polieren die Korrosionsbeständigkeit und die Dauerfestigkeit von Produkten deutlich verbessern.

 Für unterschiedliche Werkstoffe und Bearbeitungsanforderungen müssen Parameter wie Korngröße, Härte und Form der Polierscheibe sorgfältig ausgelegt werden. Die Wahl der Korngröße beeinflusst direkt die Oberflächenrauheit, während die Härte die Abtragsrate des Polierprozesses und die Standzeit des Werkzeugs bestimmt. Darüber hinaus müssen Druck, Geschwindigkeit und Umgebungsbedingungen des Polierprozesses streng kontrolliert werden, um die gewünschte Oberflächenqualität zu gewährleisten.

 Chemshun Ceramics Company ist ein professioneller Hersteller von Industriekeramik.Polierscheiben aus 99,7 % Aluminiumoxid-WaferKann geliefert werden. Gerne können Sie anfragen.

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Veröffentlichungsdatum: 28. Juli 2024