99,7 % Aluminiumoxid-Wafer-Polierplatte

Kurze Beschreibung:

Chemshun 99,7 % Al2O3-Aluminiumoxidsubstrat ist ein hochreines Material und das neue großformatige Material verfügt über hervorragende physikalische Eigenschaften und stabile chemische Eigenschaften und ist im Vergleich zu anderen Materialien günstig.Hochreines Aluminiumoxid wird von den weltweit führenden Forschungs- und Hochleistungskeramik- und Feinkeramikfabriken ständig weiterentwickelt.

99,7 % Aluminiumoxid-Wafer-Polierplatte für chemisch-mechanisches Polieren.Als wichtiger Bestandteil des chemisch-mechanischen Polierprozesses CMP.CMP ist der für die Herstellung von Saphiren und Halbleiterwafern erforderliche Prozess.

Die hochreinen Saphir-Polier- und Läppplatten aus 99,7 % Aluminiumoxidkeramik von Chemshun Ceramics sind nach dem PIBM-Herstellungsverfahren geformt.Es handelt sich um eine interne, fortschrittliche Technologie.PIBM hat das Schlüsselproblem von Rissen und Verformungen großformatiger Aluminiumoxidkeramik erfolgreich gelöst. Die PIBM-Technologie wird ein weiteres Fenster für Feinkeramik öffnen.

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Produktdetail

Anwendung

Als Aluminiumoxid-Keramik-Wafer-Polier- und Saphir-Läppscheiben, die beim Halbleiterpolieren, Diamantpolieren usw. verwendet werden.

Prozess: Alle Arten von Polier- und Läppprozessen, wie z. B. chemisch-mechanisches CMP-Polieren, mechanisches Polieren, Präzisionspolieren.

Besonderheit

Hohe Reinheit und chemische Beständigkeit
Hohe mechanische Festigkeit und Härte
Hohe Korrosionsbeständigkeit
Hohe Spannungsbeständigkeit
Hochtemperaturbeständig bis 1700 °C
Extrem abriebfeste Leistung
Hervorragende Isolationsleistung
Alle Größen 180, 360, 450, 600 mm usw

Produktname	99,7 Polier-Läppscheiben aus hochreiner Aluminiumoxidkeramik
Material	99,7 % Aluminiumoxid
Normale Größe	D180, 360, 450, 600 mm, kundenspezifische Größe akzeptiert.
Farbe	Elfenbein
Anwendung	Wafer- und Saphir-CMP-Prozess in der Halbleiterindustrie
Min.Bestell	1Bild

Chemische/physikalische Informationen

		Einheit	99,7 Aluminiumoxidkeramik
Allgemeine Eigenschaften	Al2O3-Gehalt	Gew.-%	99,7-99,9
	Dichte	gm/cc	3,94-3,97
	Farbe	-	Elfenbein
	Wasseraufnahme	%	0
Mechanische Eigenschaften	Biegefestigkeit (MOR) 20 ºC	Mpa(psix10^3)	440-550
	Elastizitätsmodul 20 °C	GPa (psix10^6)	375
	Vickers-Härte	Gpa (kg/mm2) R45N	>=17
	Biegefestigkeit	Gpa	390
	Zugfestigkeit 25 °C	MPa(psix10^3)	248
	Bruchzähigkeit (KI c)	Mpa* m^1/2	4-5
Thermische Eigenschaften	Wärmeleitfähigkeit (20 °C)	W/mk	30
	Wärmeausdehnungskoeffizient (25–1000 °C)	1x 10^-6/ºC	7.6
	Wärmeschockbeständigkeit	°C	200
	Maximale Einsatztemperatur	°C	1700
Elektrische Eigenschaften	Spannungsfestigkeit (1 MHz)	AC-kv/mm (ac v/mil)	8.7
	Dielektrizitätskonstante (1 MHz)	25 °C	9.7
	Volumenwiderstand	Ohm-cm (25 °C)	>10^14
		Ohm-cm (500 °C)	2×10^12
		Ohm-cm (1000 °C)	2×10^7

Service

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